高速CWレーザーアニール法を用いたGeおよびGeSn材料の結晶成長

高速CWレーザーアニール法を用いたGeおよびGeSn材料の結晶成長
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采用高速连续激光退火法生长 Ge 和 GeSn 材料的晶体

DOI:
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发表时间:
2021
期刊:
電子デバイス界面テクノロジー研究会材料・プロセス・デバイス特性の物理プロシーディング集
影响因子:
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通讯作者:
深田 直樹
深田 直樹
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
松村 亮;深田 直樹

文献摘要

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