Beam size reduction of a several hundred-keV compact ion microbeam system by improving the extraction condition in an ion source
Beam size reduction of a several hundred-keV compact ion microbeam system by improving the extraction condition in an ion source
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通过改善离子源的提取条件来减小数百keV紧凑离子微束系统的束尺寸
DOI：
10.1016/j.nimb.2014.12.011
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yuichi Saitoh
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yasuyuki Ishii;Takeru Ohkubo;Tomihiro Kamiya;Yuichi Saitoh
