Control of upward growth on the three-dimensional nanostructure fabrication by focused-ion-beam chemical vapor deposition
Control of upward growth on the three-dimensional nanostructure fabrication by focused-ion-beam chemical vapor deposition
复制标题
聚焦离子束化学气相沉积三维纳米结构向上生长的控制
DOI：
--
复制
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
R. Kometani
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
M. Sekine;E. Maeda;R. Kometani
