Interferenzmikroskopie mit Elektronenwellen
Interferenzmikroskopie mit Elektronenwellen
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电子干扰微电子技术
DOI：
10.1007/bf01333120
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发表时间：
1959
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
R. Buhl
中科院分区：
文献类型：
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作者：
R. Buhl
双棱镜电子干涉仪在韦尔登中的物理基础。要实现这一点，必须将双棱镜分为两个对象和对象，或两个对象和两个图像。在第一个秋天，1 μ迪凯管的石英管产生了一个负的跨度，从10 V到10 V的电压，但它的高强度的Teilbündel auseinandergelenkt韦尔登和这种虚拟的物体。在两个方向上，由于Bündel的韦尔登和在物体上的有效的Zweistrahlinterferenzen，将产生一个积极的跨度和一个Faden gelegt。Während sich der erste Strahrang für ausgedehnte Objektbereiche und kleine Vergrößerungen am besten eignet，ist dem zweiten für kleine Objektbereiche und hohe Vergrößerung der Vorzug zu geben. Der kohärent ausgeleuchtete Bereich ist durch die Winkelkohärenzbedingung 2dsinβ<λ geben. Der Kohärenzwinkel ist also umgekehrt proportional zu der Beleuchtungsapertur des Objektes.在2000年的电子光学测试中，一个50 kV的电子束和一个1.5 μ μ的高阻抗电子束在目标上产生了干扰。当光学物体被测时，干涉场将相位信息引入物体中。一个来自Beispielen的Reinhe将被一个来自Mikroskopisch的小行星的Rändern所取代，这是迪凯的第二次尝试。MoO 3的一种新的燃烧器也可以用来测量电子束的相位差。通过小勒切尔的一种Kollodiumfolie在Kohlenstoffträger上的衰减和多晶Schichten的迪凯在Tolanskygemessen的Vielstrahlinterferenzmikroskop上的衰减，可以测量出最小的内部电位。由一种经过检验的金属材料制成，其内部电位为：Au：21.1 ±2 V; Ag：20.7 ± 0.7 V; Al：12.4 ±1 V; ZnS：10.2 ± 0.5 V。
Die physikalischen Grundlagen zur Erweiterung des Biprisma-Elektronen-Interferometers in ein Interferenzmikroskop werden dargelegt. Zur Realisierung stellt man das Biprisma entweder zwischen Objekt und Objektiv oder zwischen Objektiv und Zwischenbildebene. Im ersten Fall muß der 1 μ dicke metallisierte Quarzfaden eine negative Spannung von etwa 10 V erhalten, damit die kohärenten Teilbündel auseinandergelenkt werden und sich virtuell in der Objektebene überlagern. In der zweiten Stellung wird eine positive Spannung an den Faden gelegt, damit die Bündel zusammengelenkt werden und ebenfalls virtuelle Zweistrahlinterferenzen in der Objektebene ergeben. Während sich der erste Strahlengang für ausgedehnte Objektbereiche und kleine Vergrößerungen am besten eignet, ist dem zweiten für kleine Objektbereiche und hohe Vergrößerung der Vorzug zu geben.Der kohärent ausgeleuchtete Bereich ist durch die Winkelkohärenzbedingung 2dsinβ<λgegeben. Der Kohärenzwinkel ist also umgekehrt proportional zu der Beleuchtungsapertur des Objektes. Bei 2000facher elektronenoptischer Vergrößerung, einer Strahlspannung von 50 kV und ausreichender Helligkeit betrug die Breite des Interferenzbereiches in der Objektebene etwa 1,5 μ. Das Interferenzfeld zeigt die Phaseninformation eines Objektbereiches, wenn der zugeordnete Objektbereich optisch leer ist. An einer Reihe von Beispielen wird die Phasenschiebung an Rändern von mikroskopisch kleinen Bereichen verschiedener Dicke sichtbar gemacht. Auch an Einkristall-Blättchen von MoO3wird die Phasenschiebung des Elektronenwellenzuges beobachtet.Zur Bestimmung der mittleren inneren Potentiale wurden Scheiben durch kleine Löcher einer Kollodiumfolie auf Kohlenstoffträger gedampft und die Dicke der polykristallinen Schichten mit dem Vielstrahlinterferenzmikroskop nachTolanskygemessen. Aus mehreren Messungen an verschieden dicken Schichten ergaben sich folgende mittlere innere Potentiale: Au: 21,1±2 V; Ag: 20,7±0,7 V; Al:12,4±1 V; ZnS: 10,2±0,5 V.