Yoshihiro OKUNO: "Production of sheet plasma with dc magnetron discharge source" Review of Scientific Instruments. 63. 44-47 (1992)
Yoshihiro OKUNO: "Production of sheet plasma with dc magnetron discharge source" Review of Scientific Instruments. 63. 44-47 (1992)
复制标题
Yoshihiro OKUNO：“用直流磁控管放电源生产片状等离子体”科学仪器评论。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
