Development of wire spraying for direct micro-patterning via an atmospheric- pressure UHF inductively coupled microplasma iet
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通过常压 UHF 感应耦合微等离子体网络直接微图案化的线材喷涂的开发
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y. Shimizu
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Yokoyama;Y. Shimizu
