Surface etching of InP(100) by chlorine
Surface etching of InP(100) by chlorine
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氯对 InP(100) 的表面蚀刻
DOI：
10.1016/s0039-6028(98)00666-9
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发表时间：
1998
期刊：
影响因子：
1.9
通讯作者：
Che
中科院分区：
文献类型：
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作者：
W. Hung;J. Hsieh;H. Hwang;Hsin;Che
