Crystallization of sputter-deposited film by plasma-based ion implantation
Crystallization of sputter-deposited film by plasma-based ion implantation
复制标题
等离子体离子注入溅射沉积薄膜的结晶
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Z. Yajima
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N. Sakudo;N. Ikenaga;N. Sakumoto;Y. Kishi;and Z. Yajima
