Novel Ultrasonic Cleaning Equipment Using Waveguide Mode

Novel Ultrasonic Cleaning Equipment Using Waveguide Mode
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采用波导模式的新型超声波清洗设备

DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
Japanese Journal of Applied Physics Vol.48, No.7
影响因子：
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通讯作者：
Y.Koike
Y.Koike
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
K.Suzuki;K.Han;S.Okano;J.Soejima;Y.Koike

文献摘要

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