Z-ピンチ型放電プラズマEUV光源の研究

Z-ピンチ型放電プラズマEUV光源の研究
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Z箍缩放电等离子体EUV光源研究

DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
平成15年度研究成果報告書NEDO次世代半導体デバイスプロセス等基盤技術プログラム「極端紫外線(EUV)露光システムの基盤技術開発」
影响因子：
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通讯作者：
堀田栄喜
堀田栄喜
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
T.Tsuji;K.Natori;H.Nishi;K.Ohnishi;堀田栄喜

文献摘要

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