3C-SiC(111)/Si(111)上への高配向ダイヤモンドのヘテロエピタキシャル成長
3C-SiC(111)/Si(111)上への高配向ダイヤモンドのヘテロエピタキシャル成長
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3C-SiC(111)/Si(111)上高取向金刚石的异质外延生长
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
波多野 睦子
中科院分区：
文献类型：
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作者：
須藤 建瑠;矢板 潤也;岩崎 孝之;波多野 睦子
