位置フィードバック機構を内蔵したERマイクロアクチュエータ
位置フィードバック機構を内蔵したERマイクロアクチュエータ
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内置位置反馈机构的 ER 微执行器
DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
横田眞一
中科院分区:
文献类型:
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作者:
吉田和弘;神山和仁;金俊完;横田眞一