回転ローラ間に生ずる接触圧力測定への微小突起を有する電着銅薄膜の適用
回転ローラ間に生ずる接触圧力測定への微小突起を有する電着銅薄膜の適用
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微小突起电解铜薄膜在旋转辊间接触压力测量中的应用
DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
松嶋剛志
中科院分区:
文献类型:
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作者:
小野勇一;北岡征一郎;長谷川達也;松嶋剛志