M.Ishii: "Digital etching using KrF excimer laser:Approach to atmic order controlled etching by photo induced reaction" Jpn.J.Appl.Phys.32. 6178-6181 (1993)
M.Ishii: "Digital etching using KrF excimer laser:Approach to atmic order controlled etching by photo induced reaction" Jpn.J.Appl.Phys.32. 6178-6181 (1993)
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M.Ishii：“使用 KrF 准分子激光的数字蚀刻：通过光诱导反应进行原子序控制蚀刻的方法”Jpn.J.Appl.Phys.32。
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