Influence of gas temperature on discharge properties of atmospheric pressure and radio frequency discharge plasmas in helium

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氦气中气体温度对常压及射频放电等离子体放电特性的影响

DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
Proc.of the 6th International Conference on Reactive Plasmas and 23rd Symposium on Plasma Processing
影响因子：
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通讯作者：
T.Hasegawa
T.Hasegawa
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
澤畠 公則;赤津 観;涌井 伸二;小田昭紀;T.Hasegawa

文献摘要

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