Angular distributions and differential sputtering yields of binary compounds as a function of angle of incidence
Angular distributions and differential sputtering yields of binary compounds as a function of angle of incidence
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二元化合物的角分布和微分溅射产率随入射角的变化
DOI：
10.1016/0167-5087(83)91077-3
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发表时间：
1983
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
W. Eckstein
中科院分区：
文献类型：
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作者：
J. Roth;J. Bohdansky;W. Eckstein
