Develop high-precision ultrasonic microscopy measurement system and measure the surface wave velocities of (100) silicon wafer
Develop high-precision ultrasonic microscopy measurement system and measure the surface wave velocities of (100) silicon wafer
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开发高精度超声波显微测量系统，测量（100）硅片表面波速
DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Wu Bin
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Gao zhongyang;Guo Yinghui;He Cunfu;Wu Bin
