Shin Hiyama: "Material processing using a largediameter ECR plasma" Proceedings of The 12th Symposium on Plasma Processing. 237-240 (1995)
Shin Hiyama: "Material processing using a largediameter ECR plasma" Proceedings of The 12th Symposium on Plasma Processing. 237-240 (1995)
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Shin Hiyama：“使用大直径ECR等离子体的材料处理”第12届等离子体处理研讨会论文集。
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