高速重イオン照射により絶縁体中に生じる構造変化の機構と微細加工への応用
高速重イオン照射により絶縁体中に生じる構造変化の機構と微細加工への応用
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高速重离子辐照导致绝缘体结构变化的机理及其在微细加工中的应用
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小松原哲郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
野村健一;大木義路;藤巻真;王暁民;粟津浩一;小松原哲郎
