Numberical Simulation of Energetic Species in a VHF-DC Magnetron Plasma and Comparison with Experiments

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VHF-DC 磁控管等离子体中高能粒子的数值模拟及与实验的比较

DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
Abstract of 6th International Conference on Reactive Plasmas, Matsushima, Japan
影响因子：
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通讯作者：
H.Sugai
H.Sugai
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
H.Toyoda;Y.Sakashita;Y.Takagi;H.Sugai

文献摘要

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