Bonding of LiNbO3 thin film on Si substrate using laser irradiation
Bonding of LiNbO3 thin film on Si substrate using laser irradiation
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使用激光照射将 LiNbO3 薄膜键合到 Si 基板上
DOI:
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发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
and Tanemasa Asano
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Hiroki Kawano;Ryo Takigawa;Hiroshi Ikenoue;and Tanemasa Asano