Low temperature deposition of ITO thin films by low voltage sputtering in various rare gases
Low temperature deposition of ITO thin films by low voltage sputtering in various rare gases
复制标题
各种稀有气体中低压溅射低温沉积ITO薄膜
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H.Shimizu
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.Hoshi;H.Shimizu
