Effects of Back Electrode for Etching of Silicon Nitride Film on Solar Cells Using Surface Discharge

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背面电极刻蚀氮化硅薄膜对表面放电太阳能电池的影响

DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
Proc. of Japan-Korea Joint Symp. on Electrical Discharge and High Voltage Eng No.16B-p5
影响因子：
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通讯作者：
M. Otsubo
M. Otsubo
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
S. Arakawa;T. Hamada;T. Sakoda;M. Otsubo

文献摘要

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