梅野宜崇: "第一原理分子動力学法によるSi基板上へのAl原子蒸着のプロセス解析"日本機械学会講演論文集. 01-10. 409-410 (2001)
梅野宜崇: "第一原理分子動力学法によるSi基板上へのAl原子蒸着のプロセス解析"日本機械学会講演論文集. 01-10. 409-410 (2001)
复制标题
Yoshitaka Umeno：“使用第一原理分子动力学方法分析 Al 原子蒸发到 Si 衬底上”，日本机械工程师学会会议记录 01-10 (2001)。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
