反応性イオンエッチング技術を用いたAl2O3絶縁層を有するTiウェハの鏡面加工プロセス
反応性イオンエッチング技術を用いたAl2O3絶縁層を有するTiウェハの鏡面加工プロセス
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采用反应离子刻蚀技术对带有Al2O3绝缘层的Ti晶片进行镜面抛光工艺
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
安部 隆
中科院分区：
文献类型：
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作者：
渡邉 悠太;月山 陽介;寒川 雅之;安部 隆
