SUS304ステンレス鋼スパッタ薄膜の成長相におよぼす不純物元素の影響
SUS304ステンレス鋼スパッタ薄膜の成長相におよぼす不純物元素の影響
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杂质元素对SUS304不锈钢溅射薄膜生长相的影响
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
井上尚三
中科院分区：
文献类型：
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作者：
髙田大路;倉本慎一;井上尚三
