UV-LEDリソグラフィによるマイクロレンズアレイの製作

UV-LEDリソグラフィによるマイクロレンズアレイの製作
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使用 UV-LED 光刻技术制造微透镜阵列

DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
電気学会論文誌E 129巻10号
影响因子:
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通讯作者:
松本佳宣
松本佳宣
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
井口雄介;松本佳宣

文献摘要

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