超高密度非平衡大気圧リモートプラズマを用いたアモルファスカーボン膜の作製
超高密度非平衡大気圧リモートプラズマを用いたアモルファスカーボン膜の作製
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超高密度非平衡常压远程等离子体制备非晶碳薄膜
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
堀勝
中科院分区：
文献类型：
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作者：
松平雄人;乾裕俊;加納浩之;堀勝
