A 60 Ghz Scanning Near-Field Microscope With High Spatial Resolution Sub-Surface Imaging
A 60 Ghz Scanning Near-Field Microscope With High Spatial Resolution Sub-Surface Imaging
复制标题
具有高空间分辨率次表面成像的 60 Ghz 扫描近场显微镜
DOI：
--
复制
发表时间：
2011
影响因子：
3
通讯作者：
T. Lasri
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
K. Haddadi;D. Glay;T. Lasri
我们报道了一种60 GHz（λ = 5 mm）近场扫描显微镜的表面和亚表面成像。传感用的倏逝波毫米波探头由锥形至7 μm（~ λ/700）的氧化铝微带线制成，以获得高的空间分辨率。扫描探针显微镜平台提供反射系数的振幅和相移映射。我们的显微镜展示了实现埋藏结构的次表面微观分辨率图像的能力。
We report a 60 GHz (λ = 5 mm) near-field scanning microscope for surface and sub-surface imaging. The sensing evanescent millimeter-wave probe is made of an alumina microstrip line tapered to 7 μm (~ λ/700) to achieve high spatial resolution. The scanning probe microscopy platform provides amplitude and phase-shift mappings of the reflection coefficient. Our microscope demonstrates the ability to achieve subsurface microscale-resolution images of buried structures.