下河辺明,佐藤海二 ほか: "空気静圧送りねじ機構を用いた超精密位置決め"日本機械学会論文集(C編). 66,645. 1559-1566 (2000)
下河辺明,佐藤海二 ほか: "空気静圧送りねじ機構を用いた超精密位置決め"日本機械学会論文集(C編). 66,645. 1559-1566 (2000)
复制标题
Akira Shimokawabe、Kaiji Sato 等人:“使用空气静压进给螺杆机构的超精密定位”日本机械工程师协会会刊(ed.C)1559-1566(2000 年)。
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: