下河辺明,佐藤海二 ほか: "空気静圧送りねじ機構を用いた超精密位置決め"日本機械学会論文集(C編). 66,645. 1559-1566 (2000)

下河辺明,佐藤海二 ほか: "空気静圧送りねじ機構を用いた超精密位置決め"日本機械学会論文集(C編). 66,645. 1559-1566 (2000)
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Akira Shimokawabe、Kaiji Sato 等人:“使用空气静压进给螺杆机构的超精密定位”日本机械工程师协会会刊(ed.C)1559-1566(2000 年)。

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