H.Amemiya,S.Ishii and Shigueoka.Y: "Multicusp Type Electron Cyclotron Resonance Ion Source for Plasma Processing" Jpn.J.Appl.Phys.30. (1991)
H.Amemiya,S.Ishii and Shigueoka.Y: "Multicusp Type Electron Cyclotron Resonance Ion Source for Plasma Processing" Jpn.J.Appl.Phys.30. (1991)
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H.Amemiya、S.Ishii 和 Shigueoka.Y：“用于等离子体处理的多尖点型电子回旋共振离子源”Jpn.J.Appl.Phys.30。
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