Rapid Recrystallization of Amorphous Silicon and Its Related Materials Utilizing Microplasma Jet at Atmospheric Pressure
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复制标题
常压微等离子体射流非晶硅及其相关材料的快速再结晶
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y.Hasegawai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.Sakurai;M.Yeo;H.Shirai;T.Kobayashi;Y.Hasegawai
