ミストCVD法によるc面サファイア基板上へのε-Ga2O3薄膜成長におけるNiOバッファ層の効果
ミストCVD法によるc面サファイア基板上へのε-Ga2O3薄膜成長におけるNiOバッファ層の効果
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NiO缓冲层对雾气CVD法在c面蓝宝石衬底上生长ε-Ga2O3薄膜的影响
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
吉本 昌広
中科院分区：
文献类型：
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作者：
新田 悠汰;田原 大祐;森本 尚太;西中 浩之;吉本 昌広
