Laser micromachining.
Laser micromachining.
复制标题
激光微加工。
DOI：
10.1007/springerreference_67031
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
A. Kearsley
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Kearsley
激光微加工可能是设备进一步小型化的关键。本文介绍了精确去除材料的不同技术。
Laser micromachining can be the key to further miniaturisation of devices. This article describes the different techniques for precision removal of material.