MEMS技術を用いた指触覚デバイスの設計と製作（第6報）- MEMSデバイスの試作

使用 MEMS 技术设计和生产手指触觉设备（第六次报告） - MEMS 设备的原型生产 - 2 -

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2017

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作者：

曽根順治;松本康義;大泉勝彦;曽根順治，中島乃樹，関谷涼，松本康義，長谷川晶一;曽根順治，松本康義，大泉勝彦，安田洋司，星陽一;曽根順治;曽根順治,中島　乃樹,松本　康義,長谷川　晶一;曽根順治,松本康義,山田優希,星陽一;松本康義，沓澤翔吾，曽根順治，安田洋司，星陽一