チタンダブルスクリーンを用いたアクティブスクリーンプラズマ窒化におけるN2/H2ガス比の影響
チタンダブルスクリーンを用いたアクティブスクリーンプラズマ窒化におけるN2/H2ガス比の影響
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N2/H2气体比例对钛双层网主动屏等离子渗氮的影响
DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
西本明生
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中澤邦成;松川竜也;西本明生
