Effect of Oxygen Injection on Argon Induction Plasmas by Chemically Non-equilibrium Modeling

Effect of Oxygen Injection on Argon Induction Plasmas by Chemically Non-equilibrium Modeling
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通过化学非平衡模拟注氧对氩感应等离子体的影响

DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
プラズマ科学シンポジウム2005/第22回プラズマプロセシング研究会 プロシーディングス 1
影响因子：
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通讯作者：
T.Watanabe
T.Watanabe
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
N.Atsuchi;M.Shigeta;T.Watanabe

文献摘要

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