加藤勇・板谷良平: "Proceedings of 7th Symposium on Plasuma Processing" プラズマエレクトロニクス研究会, 492 (1990)

加藤勇・板谷良平: "Proceedings of 7th Symposium on Plasuma Processing" プラズマエレクトロニクス研究会, 492 (1990)
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Isamu Kato 和 Ryohei Itaya:“第七届等离子体处理研讨会论文集”等离子体电子研究组,492 (1990)

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