プラズマ支援ミストCVDによる３次元ナノ構造酸化亜鉛薄膜形成に向けたプラズマ中の液滴蒸発挙動の解析
プラズマ支援ミストCVDによる３次元ナノ構造酸化亜鉛薄膜形成に向けたプラズマ中の液滴蒸発挙動の解析
复制标题
等离子体辅助雾气CVD形成三维纳米结构氧化锌薄膜的液滴蒸发行为分析
DOI：
--
复制
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
竹中 弘祐，都甲 将，節原 裕一
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Kosuke Takenaka;Susumu Toko and Yuichi Setsuhara;竹中 弘祐，都甲 将，節原 裕一
