MEMS応用を指向した超精密マイクロファブリケーションおよび加工欠陥の低減・修復技術
MEMS応用を指向した超精密マイクロファブリケーションおよび加工欠陥の低減・修復技術
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MEMS应用的超精密微加工和加工缺陷减少/修复技术
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
閻紀旺
中科院分区：
文献类型：
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作者：
W.X. Wang;C. Li;Y. Sakata;R. Momoda;and C.N. Xu;Ryota Mizutani;閻紀旺
