T.Suzuki: "Control of residual stress in thin films by substrate vibration and their mechanical properties"Proc.MRS-J. (in print).
T.Suzuki: "Control of residual stress in thin films by substrate vibration and their mechanical properties"Proc.MRS-J. (in print).
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T.Suzuki：“通过基板振动控制薄膜中的残余应力及其机械性能”Proc.MRS-J。
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