干渉顕微鏡観察下の粗面の垂直走査域100μmでの光路差変化の高精度測定
干渉顕微鏡観察下の粗面の垂直走査域100μmでの光路差変化の高精度測定
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干涉显微镜下高精度测量粗糙表面100μm垂直扫描范围内的光程差变化
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
岩尾
中科院分区：
文献类型：
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作者：
安達;河村;岩尾
