高来・稲葉・河野・斎藤: "プラズマ励起水素によるタングステン膜の形成" 電子情報通信学会技術研究報告. SDM-94(予定). (1994)
高来・稲葉・河野・斎藤: "プラズマ励起水素によるタングステン膜の形成" 電子情報通信学会技術研究報告. SDM-94(予定). (1994)
复制标题
Takagi、Inaba、Kono 和 Saito:“等离子体激发氢形成钨膜”IEICE 技术研究报告(计划)。
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: