K.Nakamae et al: "Electron beam assisted submicron etching of the passivation SiO_2 on LSIs" J. Electron Microscopy. 40. 296 (1991)
K.Nakamae et al: "Electron beam assisted submicron etching of the passivation SiO_2 on LSIs" J. Electron Microscopy. 40. 296 (1991)
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K.Nakamae 等人：“LSI 上钝化 SiO_2 的电子束辅助亚微米蚀刻”J. 电子显微镜。
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