アモルファス酸化物半導体a-In-Ga-Zn-O中の酸素および水素拡散
アモルファス酸化物半導体a-In-Ga-Zn-O中の酸素および水素拡散
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非晶氧化物半导体a-In-Ga-Zn-O中氧和氢的扩散
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
細野秀雄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
野村研二;神谷利夫;細野秀雄
