r面サファイア上へのa面AlN成長におけるバッファ層アニール効果
r面サファイア上へのa面AlN成長におけるバッファ層アニール効果
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r 面蓝宝石上 a 面 AlN 生长的缓冲层退火效应
DOI:
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发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
平松和政
中科院分区:
文献类型:
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作者:
林家弘;安井大貴;玉置真哉;三宅秀人;平松和政