Fabrication and evaluation of large-coupling Si Bragg gratings on SOI rib waveguides employed by Deep-RIE
Fabrication and evaluation of large-coupling Si Bragg gratings on SOI rib waveguides employed by Deep-RIE
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Deep-RIE 使用的 SOI 肋形波导上大耦合 Si 布拉格光栅的制作和评估
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
et al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Z.Wu;K.Utaka;et al.
