Rate analysis of chemical vapor deposition by use of the thin tubular reactor

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薄管反应器化学气相沉积速率分析

DOI:
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发表时间:
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期刊:
Thin Solid Films (掲載予定)
影响因子:
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通讯作者:
Kouichi Miura
Kouichi Miura
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Motoaki Kawase;Kouichi Miura

文献摘要

参考文献

被引文献

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