Rate analysis of chemical vapor deposition by use of the thin tubular reactor
Rate analysis of chemical vapor deposition by use of the thin tubular reactor
复制标题
薄管反应器化学气相沉积速率分析
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
Kouichi Miura
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
Motoaki Kawase;Kouichi Miura
登录
查看更多内容
DOI:
10.1111/j.1151-2916.1999.tb02256.x
发表时间:
2004
期刊:
影响因子:
--
作者:
T. Tago;M. Kawase;Kenshi Morita;K. Hashimoto
通讯作者:
K. Hashimoto
DOI:
10.1016/s0009-2509(05)80065-x
发表时间:
1994
期刊:
影响因子:
--
作者:
M. Kawase;Y. Ikuta;T. Tago;T. Masuda;K. Hashimoto
通讯作者:
K. Hashimoto
DOI:
10.1149/1.1838451
发表时间:
1998
期刊:
影响因子:
--
作者:
T. Takeuchi;Y. Egashira;T. Osawa;H. Komiyama
通讯作者:
H. Komiyama
影响因子:
4.7
作者:
T. Tago;M. Kawase;Y. Ikuta;K. Hashimoto
通讯作者:
K. Hashimoto
DOI:
10.1252/kakoronbunshu.26.763
发表时间:
2000
期刊:
影响因子:
--
作者:
T. Tago;M. Kawase;K. Hashimoto
通讯作者:
K. Hashimoto