Micro-Mechanical Property Evaluation of Gold-Nickel Alloys toward Design of MEMS Component
Micro-Mechanical Property Evaluation of Gold-Nickel Alloys toward Design of MEMS Component
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用于 MEMS 元件设计的金镍合金微机械性能评估
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Masato Sone
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takumi Akiyama ; Chun-Yi Chen ; Tso-Fu Mark Chang ; Daisuke Yamane ; Hiroyuki Ito ; Katsuyuki Machida ; Kazuya Masu ; Masato Sone
