シリコン酸窒化膜の内殻準位異常シフトに対する表面吸着種の影響
シリコン酸窒化膜の内殻準位異常シフトに対する表面吸着種の影響
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表面吸附物质对氮氧化硅薄膜反常核心能级位移的影响
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
遠田 義晴
中科院分区：
文献类型：
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作者：
高見 貴弘;和田 誠;遠田 義晴
